,如位移
、形變、力
、加速度
、濕度、溫度等這些物理量轉(zhuǎn)換式成電阻值這樣的一種器件
。主要有電阻應(yīng)變式
、壓阻式、熱電阻
、熱敏
、氣敏、濕敏等電阻式傳感器件
。
九
、電阻應(yīng)變式傳感器
傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變
,從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化
。電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,金屬應(yīng)變片有金屬絲式
、箔式
、薄膜式之分。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高(通常是絲式
、箔式的幾十倍)
、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)。
十
、壓阻式傳感器
壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件
。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式
。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí)
,各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出
。
用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片
,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用最為普遍
。
十一
、熱電阻傳感器
熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測(cè)量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù)。在溫度檢測(cè)精度要求比較高的場(chǎng)合
,這種傳感器比較適用
。目前較為廣泛的熱電阻材料為鉑
、銅、鎳等
,它們具有電阻溫度系數(shù)大
、線性好、性能穩(wěn)定
、使用溫度范圍寬
、加工容易等特點(diǎn)。用于測(cè)量-200℃~+500℃范圍內(nèi)的溫度
。
十二
、傳感器的遲滯特性
遲滯特性表征傳感器在正向(輸入量增大)和反向(輸入量減小)行程間輸出-一輸入特性曲線不一致的程度
,通常用這兩條曲線之間的最大差值△MAX與滿量程輸出F·S的百分比表示
。
遲滯可由傳感器內(nèi)部元件存在能量的吸收造成。